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微細加工技術(shù)雜志簡介

微細加工技術(shù)雜志創(chuàng)刊于1983年，辦刊以來，融指導性、實用性、知識性于一體，發(fā)行周期為：雙月刊，經(jīng)過雜志社調(diào)整，不斷提高了刊物的整體質(zhì)量，在行業(yè)內(nèi)有一定的影響。

微細加工技術(shù)投稿須知
預計審稿時間：3-6個月

(一)作者簡介：姓名，出生年，性別，籍貫，單位（大小單位都要寫清）及所在省市、郵編，職稱或?qū)W位。

(二)來稿一律不退，請自留一份。3個月后未有錄用消息，可自行處理。

(三)正文標題：內(nèi)容應簡潔、明了，層次不宜過多，層次序號為一、（一）、1、（1），層次少時可依次選序號。

(四)參考文獻指所引用的論文或著作。參考文獻統(tǒng)一置于文末，采用“[1]、[2]、[3]……”符號排序。

(五)關(guān)鍵詞應選擇那些最具有檢索意義的術(shù)語，通過這些術(shù)語反映論文所涉及的內(nèi)容或領(lǐng)域，以便于讀者檢索到該論文。

微細加工技術(shù)歷史收錄信息

Scopus數(shù)據(jù)庫（2021）

微細加工技術(shù)發(fā)表范例

90 nm技術(shù)節(jié)點硅柵的干法刻蝕工藝研究

作者：張慶釗; 謝常青; 劉明; 李兵; 朱效立; 馬杰
硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導體量子線

作者：郭志超; 王光燦; 王清理; 張晉
微細電解加工中工具電極的制備及應用

作者：王明環(huán); 朱荻; 王磊; 張朝陽
基于UV-LIGA技術(shù)的電磁型射頻MEMS開關(guān)的集成制作

作者：張永華; 歐陽煒霞; 汪紅; 丁桂甫; 蔡炳初; 賴宗聲
雙向橫向熱執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設計

作者：單建華; 林丙濤; 汪小華; 孔德義; 梅濤; 褚家如

微細加工技術(shù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計

名詞解釋：

被引次數(shù)：指該刊被當參考文獻的引用次數(shù)，以及被下載次數(shù)。

影響因子：指該刊在某年被全部源刊物引證該刊前兩年發(fā)表論文的次數(shù)，與該刊前兩年所發(fā)表的全部源論文數(shù)之比。

主要參考文獻期刊分析：

主要引證文獻期刊分析：

微細加工技術(shù)同類期刊推薦

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微細加工技術(shù)雜志

Microfabrication Technology

微細加工技術(shù)雜志簡介

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微細加工技術(shù)發(fā)表范例

90 nm技術(shù)節(jié)點硅柵的干法刻蝕工藝研究

硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導體量子線

微細電解加工中工具電極的制備及應用

基于UV-LIGA技術(shù)的電磁型射頻MEMS開關(guān)的集成制作

雙向橫向熱執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設計

微細加工技術(shù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計

主要參考文獻期刊分析：

主要引證文獻期刊分析：

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硅基鉑鈦夾層AAO多孔模版制備半導體量子線

微細電解加工中工具電極的制備及應用

基于UV-LIGA技術(shù)的電磁型射頻MEMS開關(guān)的集成制作

雙向橫向熱執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設計

微細加工技術(shù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計

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